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高抑制比背照式Al_xGa_(1-x)N pin日盲紫外探测器研究
利用现有外延材料生长技术和器件工艺技术,生长了背照式AlxGa1-xN pin外延材料,并用生长的材料制作了日盲紫外探测器,测试结果表明......
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Al_xGa
x)N pin
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日盲探测器
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照式
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